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热式质量流量计的优势与劣势

时间:2022-06-30  浏览量: 503

1、热式质量流量传感器优势:


(1)灵敏度高:热式传感器对温度的变化非常敏感,因此非常易于测量;


(2)功耗低:因为尺寸和感温材料的不断优化,传感器的功耗越来越低;


(3)尺寸小:现在的热式传感器结构因为采用MEMS工艺,一般是厘米或者微米级;


(4)量程大:测量下限很低,可以测量微小流量;


(5)集成度高:结合MEMS工艺可以将芯片、流道和信号处理电路集成到一起;


(6)结构简单:硅基片上结构包装后方便安装在需要的设备上;


(7)成本低:可以结合成熟的集成电路工艺在硅基上批量生产。



热式质量流量计

2、热式质量流量传感器劣势:


(1)测量气体组分单一:当气体种类改变时,不同气体的导热系数、粘度、比热容都有差别,测量时会带来较大的误差;


(2)要求气体干燥无污染:湿度较大的气体对传感器表面的热量交换有影响,进而影响到输出结果;颗粒物对传感器的输出结果也有影响。


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